Miniaturní siloměry jsou přesná zařízení pro{0}}měření síly vyvinutá na základě technologie MEMS (Microelectromechanical Systems). Patří do kategorie mikroelektromechanických zařízení a jejich hlavní technologický průlom spočívá v optimalizaci polovodičových piezorezistivních snímacích prvků v nanoměřítku.
Miniaturní snímače zatížení primárně dosahují měření generováním elektrických signálů prostřednictvím mechanické deformace miniaturní membrány. Základní komponenta využívá MEMS tenzometr. Tyto snímače lze miniaturizovat na několik milimetrů a váží pouze několik gramů. Technologie kompozitního balení využívá silikonovou -kovovou dvouvrstvou- strukturu, která poskytuje ochranu proti vlhkosti a prachu a zároveň kontroluje teplotní posun v rozmezí ±0,005 %/stupeň.
Miniaturní snímače zatížení zahrnují dva hlavní typy: miniaturní snímače tlaku a miniaturní akcelerometry. Lze je integrovat do chytrých nositelných zařízení (jako jsou funkce sledování hmotnosti v chytrých hodinkách), spotřební elektroniky (jako jsou tlačítka citlivá na tlak- na chytrých telefonech), vážení na průmyslové výrobní lince, měření balení, dávkování materiálu a lékařské vybavení (jako jsou systémy zpětné vazby společné síly v chirurgických robotech), čímž se rozšiřují hranice použití snímačů zatížení.